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科学家成功改进等离子体深硅刻蚀技术,将晶圆微纳技术提至10nm级别,实现计量测量新突破

科学家成功改进等离子体深硅刻蚀技术,将晶圆微纳技术提至10nm级别,实现计量测量新突破

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更新时间:2025-09-03 18:03:48